• Nettoyage et activation de surface
• Retrait de résine et de contaminants
• Gravure de matérieux, micro-incinération ….
| Application • Nettoyage et activation de surface • Retrait de résine et de contaminants • Gravure de matérieux, micro-incinération …. |
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Domaines d’utilisation : collage, impression, analyse, optique, hybrides, fabrication de wafers, industrie des polymères...
Description
La gamme NT comprend 3 machines avec chambres de 20, 50 et 100 litres,
dédiées à la R&D, aux applications de laboratoires
ou à la production..
Description
• Electrodes parallèles
• Etagères positionnables pour : Plasma Direct, « Down Stream
», ou « RIE »
• Générateur RF 13.56 MHz / 600 Watts à accord automatique
• 2 lignes de gaz (4 en option) et debitmètres massiques
• Entièrement piloté par PC sous Windows98tm
• Stockage illimité de recettes de nettoyage
• Séquençage automatique des opérations
• Interface intuitive (Anglais ou français)
